IR-Sensorarray

Hochauflösender Zeilendetektor mit 510 Elementen

18.07.12 | Redakteur: Ines Näther

(DIAS Infrared)

Mit einem neuen linearen Zeilendektor mit 510 IR-empfindlichen Elementen hat DIAS Infrared ein Hochleistungs-IR-Sensorarray zur Marktreife gebracht, das beispielsweise in der hochauflösenden Spektrometrie oder bei der IR-Laser-Charakterisierung Maßstäbe setzt.

Die pyroelektrischen linearen Arrays von DIAS werden für die berührungslose Messung in der Gasanalyse, Spektroskopie, Pyrometrie und Sicherheitstechnik eingesetzt. Neben den bisher schon erhältlichen Arrays mit 128 oder 256 Elementen auf einem Chip aus Lithiumtantalat (LiTaO3) rundet der neue Detektor mit 510 Elementen und seiner hohen Trennschärfe und räumlichen Auflösung das Angebot nach oben hin ab. Das Raster der Einzelelemente beträgt bei allen Arrays 100 bzw. 50 µm.

Die einfallende Strahlung gelangt über ein infrarotdurchlässiges Fenster auf die empfindlichen Elemente. Die dort erzeugten Signale werden in einem CMOS-Schaltkreis weiterverarbeitet, der neben einem Multiplexer und einem Ausgangsverstärker für jedes Pixel einen angepassten rauscharmen Vorverstärker enthält. Zusammen mit dem pyroelektrischen Chip befindet sich der CMOS-Ausleseschaltkreis auf einem Dickschicht-Verdrahtungsträger, der in einem Metallhermetikgehäuse montiert ist.

Arrays mit besonders dünnen empfindlichen Elementen

Die leistungsstarken industriellen Detektoren reagieren bereits auf sehr geringe Temperaturschwankungen. Durch den Einsatz modernster Ionenstrahl-Ätztechnologie verfügen die Arrays über besonders dünne empfindliche Elemente, die sehr hohe spezifische Detektivitäten erlauben. Auch die Empfindlichkeit der Arrays erreicht sehr hohe Werte. Ein niedriges Rauschen und eine geringe Schwingungsempfindlichkeit sind weitere Merkmale.

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