CCD-Kamera Back-Thinned CCD-Kamera mit hoher Quanteneffizienz für UV und NIR

Redakteur: Gudrun Zehrer

Die neue C8000-30 CCD-Kamera von Hamamatsu Photonics verfügt über den besonderen back-thinned frame transfer CCD-Chip aus eigener Fertigung mit sehr hoher Quanteneffizienz, vor allem im ultravioletten Spektralbereich.

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(Hamamatsu)

Bei 157 nm beträgt die Quanteneffizienz 84 Prozent, bei 193 nm 57 Prozent und bei 248 nm 69%. Der Füllfaktor liegt bei 100%. Damit ist diese Kamera ein guter Sensor für Anwendungen wie Maskeninspektion bei der UV-Lithografie und Optik-Charakterisierung. Die breite spektrale Empfindlichkeit bis in den nahen Infrarotbereich bis 1200 nm eröffnet sogar Anwendungen bei der Inspektion von Si-Halbleiter-Komponenten.

Messung schneller, dynamischer Vorgänge

Das lineare Ansprechverhalten und die Auflösung von 640x480 Pixeln mit einer hohen Bildfolgefrequenz von mehr als 31Hz gestatten quantitativ hochwertige Messungen auch von schnellen, dynamischen Vorgängen. Geringe Intensitätsunterschiede können bei einem Dynamikumfang von 3000:1 und einer 12bit A/D-Wandlung zuverlässig erfasst werden.

Für industrielle Anwendungen im Dauerbetrieb

Standard C-Mount-Objektivanschluss und CameraLink-Interface erleichtern die Implementierung in Hardware- und IT-Umgebungen. Die kompakte und robuste Kamera ist gleichermaßen für wissenschaftliche und industrielle Anwendungen im Dauerbetrieb geeignet.

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