Charakterisierung von Dotierstoffinhomogenitäten mittels Photolumineszenz (links) und mittels chemischen Ätzens an hochdotierten Siliziumwafern.
Charakterisierung von Dotierstoffinhomogenitäten mittels Photolumineszenz (links) und mittels chemischen Ätzens an hochdotierten Siliziumwafern. ( Bild: Fraunhofer THM )