Messtechnik Kompakte Kontrolle

Redakteur: Dipl.-Ing. Dorothee Quitter

Fries Research & Technology (FRT) hat bereits vor zehn Jahren damit begonnen, skalierbare Gerätekonzepte zu entwickeln, die verschiedene Messverfahren miteinander kombinieren können.

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Fries Research & Technology (FRT) hat bereits vor zehn Jahren damit begonnen, skalierbare Gerätekonzepte zu entwickeln, die verschiedene Messverfahren miteinander kombinieren können. Ein Beispiel ist die Verbindung optischer Sensoren mit der Rasterkraftmikroskopie (AFM). Messbereiche sind damit vom Nanometer bis zum Meter abgedeckt und Mehrdimensionalität kann vermessen, abgebildet sowie bewertbar gemacht werden. Multisensor-Systeme bieten neben der wesentlich höheren Messbandbreite vor allem auch ein größeres Informationsspektrum. Sie liefern Daten zu allem, was aktuell messbar ist. Im wesentlichen sind dies Rauheit, Kontur, Topographie, Stufenhöhe, Geometrie, Dicke, Schichtdicke, aber auch Parameter wie Verschleiß, Elastizität oder magnetische Eigenschaften.

Ein besonders starker Trend zum Einsatz von Multisensor-Messsystemen ist in den Branchen Halbleiter und Automotive festzustellen. In der Automobilbranche werden Multisensor-Systeme eingesetzt, um neben dem Motorenbau die optischen und haptischen Eigenschaften von Kunststoffoberflächen im Interieur zu optimieren. Die Maximierung der Verschmutzungsresistenz von Kunststoffen ist ein weiterer typischer Einsatzzweck. In der Halbleiterbranche werden mit Multisensor-Systemen automatisiert Bow und Warp sowie Stufenhöhen und TTV von Wafern bis zu 300mm gemessen.

Die Fortschritte in der Nano- und Mikrotechnologie ermöglichen Produkte mit faszinierenden neuen Material- und Leistungseigenschaften. Gerade hier kommt es darauf an, schnell auf veränderte Entwicklungstrends des Marktes zu reagieren und kürzeren Innovationszyklen sowie steigendem Wettbewerbsdruck gerecht zu werden. Multisensor-Messsysteme leisten hierzu einen wichtigen Beitrag, denn sie können je nach Investitionsbereitschaft und technischer Anforderung des Kunden individuell und zu jeder Zeit angepasst werden. Dadurch sind sie besonders zukunftssicher. Ob ein einzelner Sensor oder eine ganze Multisensor-Anordnung – jedes Unternehmen kann über Zeitpunkt und Umfang der Investition selber entscheiden.

FRT Fries Research & Technology

Tel. +49(0)2204 842430

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