Excimerlaser

Laserprozesse in der Displayherstellung

19.05.2008 | Redakteur: Andreas Mühlbauer

Seit über zehn Jahren erfolgreich in der Integration von Laserprozessen zur Displayherstellung, bringt Coherent ein weiteres Lasersystem auf den Markt. Die Lambda-SX-Laserserie, speziell

Seit über zehn Jahren erfolgreich in der Integration von Laserprozessen zur Displayherstellung, bringt Coherent ein weiteres Lasersystem auf den Markt. Die Lambda-SX-Laserserie, speziell entwickelt zur Herstellung von OLED-LTPS-Backplanes, wurde kürzlich mit einem weiteren Produkt für höheren Durchsatz von namhaften asiatischen Herstellern qualifiziert. Das System Lambda SX 540C mit 365 mm Linienstrahl erlaubt mit 540 W UV-Laserleistung die Verdopplung der Scangeschwindigkeit bei der LTPS-Kristallisation.

Die Linien-Scan-Kristallisation, genannt Excimer Laser Annealing (ELA), hat sich als das effizienteste verfügbare Verfahren für OLED- und hochauflösende LC-Displays behauptet. Neben der Langzeitstabilität bietet LTPS den Vorteil der Integration der Treiberelektronik auf dem Display. Die einzigartige Stabilität der Lambda-SX-Excimerlaserserie, gekoppelt mit der verbesserten Homogenität der UV-Optik, erreicht ein Höchstmaß an Produktionsausbeute. Hiermit ist ein großer Schritt im Hinblick auf die Kommerzialisierung der OLED-Displays gelungen.

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