Beschleunigungssensor MEMS-Sensor für Beschleunigung und Neigung

GS1 ist ein mikromechanischer und kapazitiv arbeitender, einachsiger Beschleunigungssensor von Panasonic Electric Works. Der als 2-Chip-Lösung realisierte Baustein besteht aus einem

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Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

a.b.jödden gmbh

Panasonic Electric Works Europe AG

GS1 ist ein mikromechanischer und kapazitiv arbeitender, einachsiger Beschleunigungssensor von Panasonic Electric Works. Der als 2-Chip-Lösung realisierte Baustein besteht aus einem mittels MEMS-Technik hergestellten Halbleitersensorelement und einem speziell dafür entwickelten ASIC, das das kapazitive Messsignal vom Sensorelement verarbeitet und in ein Spannungsausgangssignal konvertiert.

Der GS1-Baustein, der als SMD-Typ erhältlich ist (Baugröße 6,2 mm × 8,5 mm × 1,6 mm), eignet sich besonders für Automotive-Anwendungen, in denen hohe Genauigkeit mit einem großen Temperaturbereich (–40 bis 85 °C) erforderlich sind. Typische Anwendungen sind u.a. Navigationssysteme im Fahrzeug, elektronische Vorrichtungen für Kipp- und Überrollschutz (Neigungsmessung). Als Ausgangssignal steht eine der Beschleunigung (Messbereich ±2 g) proportionale Spannung von 2,5 ± 2 V zur Verfügung. Bedingt durch die Materialeigenschaft ist die Temperaturabhängigkeit (±0,05 V/g) dieses kapazitiven Beschleunigungssensors im Vergleich zu piezoresistiven Varianten deutlich geringer. Das erleichtert eine hohe Empfindlichkeit (1 V/g) und eine hohe Genauigkeit (±5% F.S.) des Ausgangssignals zu erzielen. Weil die bewegliche Elektrode nicht nur aufgrund einer bewegungsbasierenden Beschleunigung sich bewegt, sondern auch infolge der statischen Gravitationsbeschleunigung der Erde ihre Lage verändert, wird diese Eigenschaft genutzt, um Neigungen zu messen bzw. zu erkennen.

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