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Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

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02.12.2022

Konfokale Sensorsysteme für Weg, Abstand, Position und Dicke

Konfokale Sensoren der Serie confocalDT bieten hochpräzise Weg-, Abstands-, Positions- und Dickenmessungen bei hohen Messraten bis zu 70 kHz. Der kleine Lichtfleck detektiert zuverlässig feinste Details und Strukturen auf praktisch allen Arten von Targets, einschließlich verspiegelter und gläserner Targets mit gekrümmten Oberflächen. Unterschiedliche Sensormodelle und verschiedene Schnittstellen am Controller eröffnen vielfältige Anwendungen, z.B. in der Halbleiterindustrie, Glasindustrie, Medizintechnik und Kunststoffproduktion.

Die confocalDT Produktreihe steht für höchste Präzision und Dynamik in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Das Messsystem verfügt über den derzeit schnellsten Controller weltweit und ermöglicht hochpräzise Messergebnisse sowohl bei Weg- und Abstandsmessungen als auch bei der Dickenmessung von transparenten Objekten. Zahlreiche Sensoren und verschiedene Schnittstellen ermöglichen den Einsatz in vielfältigen Messaufgaben, z.B. in der Halbleiterindustrie, Glasindustrie, Medizintechnik und im Maschinenbau.

Das konfokal-chromatische Messprinzip erlaubt es, Wege und Abstände hochpräzise zu messen – sowohl auf diffusen als auch auf spiegelnden Oberflächen. Die leistungsstarken Controller und innovativen Sensoren von Micro-Epsilon ermöglichen hochauflösende Messungen bis in den Nanometerbereich. 

Das konfokal-chromatische Messprinzip ermöglicht die Dickenmessung von transparenten Materialien wie Glas. Dabei wird mit nur einem Sensor die Dicke mikrometergenau erfasst. Im Controller ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die individuell editierbar und erweiterbar ist. Materialspezifische Parameter wie z.B. Brechungsindizes können über das Webinterface einfach angepasst werden. Bis zu 6 Peaks können ausgewertet werden (Multi-Peak-Messung). Dadurch lassen sich auch mehrschichtige Objekte wie z.B. Verbundglas vermessen.

Die confocalDT IFS Sensoren bieten einen großen Messwinkel bis zu 48°. Dadurch werden gekrümmte und insbesondere strukturierte Oberflächen zuverlässig erfasst und stabile Signale erzeugt. Sensorbauformen ab 4 mm Durchmesser ermöglichen die Integration in beengte Bauräume. Dank der 90° Modelle wird die erforderliche Bauraumtiefe nochmals deutlich reduziert.

Konfokale Messsysteme:

  • Abstands- und Dickenmessung mit enormer Auflösung und Messrate
  • Ideal zur Automatisierung und Fertigungsüberwachung
  • Nahezu oberflächenunabhängig, auch für Spiegel und Glas
  • Extrem kleiner konstanter Messfleck
  • Nanometergenaue Auflösung
  • Industrietaugliche Controller mit idealem Signal-Rausch-Verhältnis
  • Passives Messsystem
  • Neu: Schnellster Controller weltweit mit integrierter Lichtquelle