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Temperaturüberwachung So sorgen Pyrometer für eine wohltemperierte Elektronikfertigung

| Redakteur: Ines Stotz

In der Elektronikfertigung und -bestückung müssen genaue Temperaturfenster eingehalten werden, damit einerseits Lötpasten und Lacke aufgetragen werden können, andererseits die empfindliche Elektronik nicht durch zu hohe Temperaturen beschädigt wird. Auch bei der Siliziumkristall-Zucht, beispielsweise für Solarzellen oder Wafer, ist die Einhaltung enger Temperaturbereiche für qualitativ hochwertige Ergebnisse elementar. Für solche Einsätze wurden von DIAS Infrared spezielle Pyrometer und Lichtleiter-Pyrometer entwickelt.

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DIAS Infrared hat für die Elektronikfertigung spezielle Pyrometer und Lichtleiter-Pyrometer entwickelt.
DIAS Infrared hat für die Elektronikfertigung spezielle Pyrometer und Lichtleiter-Pyrometer entwickelt.
(Bilder: DIAS Infrared)

Für die berührungslose, hitzebeständige Temperaturüberwachung werden in der Fertigung mehr und mehr Thermoelemente durch digitale Pyrometer ersetzt. Die Vorteile dieser Geräte liegen in der einfachen Anwendung, dem günstigen Preis und der sehr langen Standzeit im Vergleich zu herkömmlichen Geräten. So können auch unter Spannung stehende Bauteile problemlos, da berührungslos, überwacht werden.

In der Halbleitertechnologie, aber auch in anderen verwandten Bereichen wie der Mikrosystemtechnik, werden mittels Fotolithografie Strukturinformationen von Fotomasken in einen Fotolack übertragen, der auf ein entsprechendes Substrat aufgebracht wird. Nicht zuletzt wegen der besonders guten Planarität kommen hierbei bevorzugt Wafer aus Silizium zum Einsatz.

Für die Herstellung hoch integrierter Chips sind bis zu zwanzig verschiedene Masken erforderlich. Viele der zahlreichen Produktionsschritte zur Chipherstellung erfolgen in unterschiedlichen Temperaturbereichen im Vakuum oder in einer bestimmten Gasatmosphäre. Hier kommt es in den Produktionsschritten auf eine präzise Einhaltung der Prozesstemperaturbereiche an. Da bei der Halbleiterproduktion Rein- bzw. Reinstraumbedingungen herrschen, muss diese Temperaturüberwachung zudem berührungslos und emissionsfrei erfolgen. Dies gelingt am einfachsten mit Pyrometern.

Digitale Lichtleiter-Pyrometer liefern punktgenaue Ergebnisse

Mit der Pyrospot Serie 11 hat DIAS vier digitale Pyrometer mit Lichtleitern für industrielle Anwendungen nicht nur in der Elektronikfertigung, sondern auch in der Stahl-, Keramik- und Metallindustrie sowie in Lötanlagen und im Ofenbau entwickelt, mit denen berührungslose Temperaturmessungen auch an schwer zugänglichen Stellen möglich sind. Die Konfiguration kann komplett am Gerät mit Tastatur und Display oder über die RS485-Schnittstelle erfolgen. Messfelder bis zu 0,7 mm, Ansprechzeiten von 2 ms, Temperatur-Messbereiche von 150 bis 3.000°C sowie ein integriertes Pilotlicht sorgen für punktgenaue, exakte Ergebnisse.

Für nahezu emissionsgrad-unabhängige Messungen ist auch ein Quotienten-Pyrometer lieferbar.

Wie alle Pyrometer von DIAS Infrared werden die Geräte ausschließlich in Deutschland entwickelt und gefertigt. Zielgruppe der Serie sind industrielle Anwender, die hochwertige Temperaturmesssysteme nach dem neuesten Stand der Infrarot-Messtechnik oder applikationsspezifische Systemlösungen benötigen.

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