Tripod auf XY-Kreuztisch Die Vorteile gestapelter und parallelkinematischer Systeme in einer Positionierlösung

Anbieter zum Thema

Steinmeyer Mechatronik GmbH

Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

FAULHABER Antriebssysteme

dataTec AG

Steinmeyer Mechatronik hat eine Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch entwickelt. Das Ergebnis: höchste Genauigkeit, Robustheit und Zuverlässigkeit. Die Hybride passt das Dresdner Unternehmen exakt an die applikationsspezifischen Kundenanforderungen an und bietet damit Lösungen für die Montage und Messung von Optiken und miniaturisierten Linsensystemen.

Bei der Messung, Montage und Inspektion von Linsen, Prismen, Wafern oder Halbleiterchips ist höchste Präzision im Mikrometer- und Submikrometer-Bereich gefragt. Die Zuführung der Komponenten auf den Träger übernehmen in der Regel jedoch Systeme, die auf große Wege, höchstmögliche Taktzeiten und eine robuste, preiswerte Ausführung optimiert sind. Extreme Genauigkeiten? Fehlanzeige. Auch ist die Anzahl der Bewegungsfreiheitsgrade meist eingeschränkt. So ist beispielsweise keine Kippung in zwei Richtungen möglich, wenn der Transport mit einem XYZ-System erfolgt. Zur Erfüllung der hohen Genauigkeitsanforderungen müssen die Komponenten daher nach der Zuführung noch mit einer separaten Alignment-Vorrichtung ausgerichtet werden. In vielen Fällen geschieht dies mit einem Hexapoden. Doch ist dies immer die bestmögliche Lösung? Mitnichten. Innovative Ansätze wie der Tripod auf einem XY-Kreuztisch von Steinmeyer Mechatronik sind hochpräzise, robust sowie einfach zu bedienen und haben sich in zahlreichen Alignment-Applikationen der Halbleiterindustrie erfolgreich als anwenderfreundliche und wirtschaftliche Alternative bewährt.

Universalität hat ihren Preis

Hexapoden sind parallelkinematische Systeme und erzeugen durch das kontrollierte Überlagern von einzelnen Linearbewegungen beliebige Raumbewegungen. Mehrere Antriebe stützen parallel das Bauteil aus verschiedenen Richtungen, was theoretisch einen Vorteil in der Steifigkeit offeriert. Auch virtuelle Drehzentren, also die Drehung um Achsen außerhalb des Bewegungssystems, lassen sich bewerkstelligen. Hexapoden sind äußerst populär und gelten als Nonplusultra für hochgenaue Ausrichtprozesse. Doch wie bei allen universell angelegten Systemen geht es nicht ohne Kompromisse. Die Knackpunkte liegen vor allem in der komplexen Mechanik, im hohen Steuerungsaufwand, im Auftreten von Nichtlinearitäten sowie in der eingeschränkten Industrietauglichkeit.