Motion Controller und Frequenzumrichter
Höchste Präzision im Sub-Mikrometer-Bereich

Von Torsten Blankenburg, CTO, Sieb & Meyer 6 min Lesedauer

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Maskenlose Lithographie-Subsysteme werden für Leiterplatten, Halbleiter und die Additive Fertigung verwendet. Sie stellen hohe Anforderungen auch an die verbaute Antriebstechnik. Ein Mehrkanalsystem bestehend aus Motion Controller und Antrieben verpricht Präzision bis in den Sub-µm-Bereich.

Sebastian Aske, Produktmanager bei Visitech: „Die Herausforderung besteht darin, immer an die Grenzen zu gehen. Wir wollen immer schneller werden: mehr Leistung, mehr Daten, genauere, feinere Details, und am liebsten natürlich alles zur gleichen Zeit.“(Bild:  Visitech)
Sebastian Aske, Produktmanager bei Visitech: „Die Herausforderung besteht darin, immer an die Grenzen zu gehen. Wir wollen immer schneller werden: mehr Leistung, mehr Daten, genauere, feinere Details, und am liebsten natürlich alles zur gleichen Zeit.“
(Bild: Visitech)

Vergleicht man das System mit dem menschlichen Körper, so kann die Zusammenarbeit von Visitech und Sieb & Meyer mit zwei Gehirnhälften beschrieben werden: Jede Hälfte nimmt kontinuierlich Informationen auf, meldet und verarbeitet diese in Echtzeit. Genau wie das Gehirn arbeiten die Technologien beider Anbieter perfekt zusammen. In Kombination sind die beiden Technologien ihrem biologischen Pendant in punkto Schnelligkeit und Präzision aber um Welten voraus. Die Zusammenarbeit von Visitech und Sieb & Meyer begann vor über zehn Jahren, als zunächst eine passende Steuerungslösung für hochkomplexe Aufgaben zum Direktbelichten von Leiterplatten benötigt wurde. Darüber hinaus sollte die Steuerungslösung aber auch in der Halbleiter-, Verpackungs- sowie in der Additiven Fertigungstechnik in industriellen und biomedizinischen Anwendungen zum Einsatz kommen.

Sieb & Meyer nahm diese Herausforderung an und entwickelte mit dem MC2 einen geeigneten Motion Controller für bis zu 8 Achsen. Ergänzt wurde der MC2 um Servoverstärker der Serie SD2x und das proprietäre Bussystem Servolink 4. In der Zwischenzeit hat sich die Komplettlösung in diversen Anwendungen bewährt. Die Besonderheit dabei: Bei der Umsetzung steht der Endkunde immer mit beiden Unternehmen in Kontakt und kann auf die jeweilige Expertise direkt zugreifen.