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Weg- und Dickenmessung

Konfokaler Sensor misst mit Auflösung von 3 nm

| Redakteur: Gudrun Zehrer

Der kompakte konfokale Sensor Confocal DT IFS2407-0,1 von Micro-Epsilon soll neue Anwendungsfelder in der präzisen konfokalen Weg- und Dickenmessung eröffnen.

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Der konfokale Sensor Confocal DT IFS2407-0,1 eignet sich für die präzise konfokale Weg- und Dickenmessung. Er wird in zwei Versionen angeboten: Die Standardvariante für hochpräzise Messungen bei Rauheit und dünnen Schichten sowie die lichtstarke Option für schnelle Messungen mit kurzer Belichtungszeit und für dunkle Oberflächen.
Der konfokale Sensor Confocal DT IFS2407-0,1 eignet sich für die präzise konfokale Weg- und Dickenmessung. Er wird in zwei Versionen angeboten: Die Standardvariante für hochpräzise Messungen bei Rauheit und dünnen Schichten sowie die lichtstarke Option für schnelle Messungen mit kurzer Belichtungszeit und für dunkle Oberflächen.
( Bild: Micro-Epsilon )

Mit einer Auflösung von 3 nm misst der kompakte Sensor sehr genau. Er bietet einen großen Verkippungswinkel sowie einen 3 µm kleinen Lichtpunkt. Dadurch lassen sich Rauheitsmessungen mit hoher Präzision realisieren. Die Dickenmessung von transparenten Materialien kann bereits ab 5 µm Materialstärke erfolgen.

Kleiner Messbereich kombiniert mit hoher Auflösung

Mit dem IFS2407-0,1 stellt Micro-Epsilon einen kompakten konfokalen Sensor vor, der aufgrund seiner Technologie neue Anwendungsbereiche in der Weg- und Dickenmessung erschließen soll. Der Messbereich des Sensors beträgt nur 100 µm. Die Stärke des Sensors liegt also im Detail. Denn der kleine Messbereich kombiniert mit einer hohen Auflösung von 3 nm ermöglicht es, transparente Schichten wie Glas oder Kunststofffolien bereits ab 5 µm zuverlässig und hochgenau zu erfassen.

Rauheitsmessungen auf Oberflächen durchführbar

Ein weiteres Merkmal ist der große Verkippungswinkel. Dieser ergibt sich durch die numerische Apertur, dem Grad der Bündelung der Lichtstrahlen in diesem optischen System, die einen Wert von NA 0,8 bzw. NA 0,7 erreicht. Im Zusammenspiel mit dem Lichtpunktdurchmesser von nur 3 µm können feinste Strukturen erfasst und Rauheitsmessungen durchgeführt werden. Beispielsweise werden fein gehonte Oberflächen wie z. B. Bremsscheiben, deren Strukturen für das menschliche Auge eher wie glatt polierte Flächen wirken, mit diesen Sensoren überprüft.

Es werden zwei Versionen angeboten. Die Standardvariante mit NA 0,8 für hochpräzise Messungen bei Rauheit und dünnen Schichten sowie die lichtstarke Option mit NA 0,7 für schnelle Messungen mit kurzer Belichtungszeit und für dunkle Oberflächen.

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