MEMS-Sensoren sind in jedem Smartphone verbaut, können aber auch in der industriellen Technik eine wesentliche Rolle spielen. Durch sie wurde unser Spielraum, bestimmte mechanische Messgrößen zu erfassen und sehr schnell darauf zu reagieren, stark erweitert. Aber welche Technik steckt eigentlich hinter dem Kürzel MEMS, und welche aktuell noch brachliegenden Möglichkeiten ergeben sich in professionellen Anwendungen durch ihre Nutzung?
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