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Sensorik MEMS-Sensoren erkennen kleinste Abweichungen

| Redakteur: Dipl. -Ing. Ines Stotz

In zahlreichen Anwendungen, etwa der Robotik oder Zustandsüberwachung, ist es oft notwendig, schon kleinste Lage- oder Beschleunigungsänderungen erkennen zu können. First Sensor hat dafür eine Technologieplattform präsentiert, mit der sich hochgenaue Inertialsensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration herstellen lassen.

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(First Sensor)

Die kapazitiven Sensoren basieren auf einkristallinen Silizium-Sensorelementen und neusten mikromechanischen Herstellungsverfahren. Die MEMS-Sensoren erreichen ein sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowie eine hervorragende Temperaturstabilität und erkennen schon kleinste Lage- oder Beschleunigungsänderungen. Die Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten.

Die Sensoren bieten überlegene Leistungsmerkmale und ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis im Vergleich zu existierenden Lösungen, heißt es aus dem Unternehmen. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30 ° erreichen eine Rauschdichte kleiner 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015 ° bei einer Messfrequenz von 10 Hz.

Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±8 g und ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.

MEMS-Inertialsensoren: flexibel und kostengünstig

Alle MEMS-Inertialsensoren können auf Grund der modularen Technik flexibel und kostengünstig an kundenspezifische Anforderungen angepasst werden. Das kapazitive Sensorelement und die ASIC-Signalverarbeitung sind in ein hermetisch abgeschlossenes SMD-Gehäuse für die platzsparende Leiterplattenmontage integriert. Zusätzlich stehen verschiedene Entwicklungsplatinen für die einfache und schnelle Auswertung der Sensorsignale zur Verfügung.

Die wichtigsten Merkmale der Inertialsensoren:

  • Neueste mikromechanische Herstellungsverfahren (HARMS, AIM);
  • sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis;
  • hervorragende Temperaturstabilität;
  • flexible kundenspezifische Anpassungen.

Die Einsatzbereiche:

First Sensors Neigungs- und Beschleunigungssensoren kommen in der Industrie, Gebäudetechnik, Luftfahrt und Medizintechnik zum Einsatz. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung.

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